随着时代发展，现在用冶金方法生产高纯多晶硅使用的硅原料纯度一般为太阳能级，如果高纯多晶硅中的一些有害杂质，如铁、铝、铜、磷、碳等含量过高就会对多晶硅的电阻率和少数载流子寿命有很大影响，从而降低太阳能电池的光电转换效率和使用寿命，因此多晶硅中有害杂质的含量必须严格控制在需要的范围内，利用冶金法提纯多晶硅在生产过程中多使用石英坩埚由于液态硅筒石英有润湿作用，且与坩埚内壁的直接接触不仅使坩埚内壁的反应粘连，生产的应力将引起多晶硅铸锭凝固过程正中开裂，因此我们研究氮化硅坩埚内壁涂层，涂层减少了粘连和坩埚杂质的进入。