氮化硅结合碳化硅的生产工艺过程是将粗、中、细颗粒的SiC 及金属Si 粉合理搭配，辅以一定量的添加剂和临时结合剂在混料机中充分混合。经闷料后采用一定的成形方式，使坯体达到预定的形状尺寸及合理的密度和强度，烘干去除水分后装入大型氮化炉，在纯净的氮气氛中烧成。使坯体中的金属Si 反应生成氮化硅结合相的SiC 复合材料。其生产工艺流程如图l 所示。Si粉在高温下与纯净的N ： 发生反应， 即：2N2+3Si -Si3N 。， 生成的Si3N 。与SiC 紧密地结合形成以Si3 N4 为结合相， 以SiC 为骨架的复合材料制品。

      该制品在氮化烧成中坯体几乎不收缩，它的致密化是由于Si与N2 反应生成的Si3 N4 之后有22qo 的摩尔体积增加。氮化硅结合碳化硅具有相似的化学结构和相似的物理性质，氮化硅把坚硬的碳化硅结合起来，这种工艺和性能的有机结合使其制品具有优良的耐高温性、断裂韧性、抗氧化性及抗热震性。随着国外发达国家宽体窑炉的大量引进，我国电瓷、陶瓷、砂轮、冶金等行业的窑炉技术得到了不断地改进和完善，对氮化硅结合碳化硅板材窑具提出了更高的要求。对于棚板为了提高抗热震性可分为开缝板和非开缝板，还有的要求为倒角板、多空板等等。对于隔焰板目前国内最大的使用长度为2 200 mm ，这些都需要在标准修订时予以补充。

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